第66部分(3 / 4)

小說:材料為王 作者:中國長城網

裝置操作,絕不會出任何紕漏。

郭逸銘相信他們能夠說到做到。

尺寸1:1掩膜版早已製造完成,一共準備了12塊掩膜版,這一點在工藝上並無特大改進。在操作員控制下,自動上膠機飛速轉動,緩緩接近單晶矽襯底,飛快地旋轉而過,一層光刻膠就勻稱的塗抹到了單晶矽襯底上。

操作員對其厚度、均勻程度檢測以後,向郭逸銘他們挑起了大拇指。

一陣輕微的歡笑聲,在人群中響起,隨即便迅速重歸寧靜,未到試執行結束,誰也不敢有絲毫放鬆。

塗抹了光刻膠的襯底,被送進烘焙爐中進行烘焙,使光刻膠乾硬成型,並完成內部形變,之後自動進行退火處理。

操作員用操作鉗夾出操作盤中,將硬化後的單晶矽襯底送到相鄰的另外一個淨潔室內。這裡,負責操作光刻機的技術人員已經完成了光刻機的預操作,掩膜版盒也已安裝到位,見到呈放單晶矽襯底的操作盤傳送過來,低頭再次檢查了一下光刻膠塗抹情況之後,用帶著防護手套的手,開啟光刻機艙門,小心翼翼將操作盤放置入內,仔細檢查之後,關上艙門。

他回到控制位,按工藝流程,快速地在控制儀表盤上進行各項操作:釋放掩膜版盒、鎖定、選擇掩膜版編號、控制所需編號掩膜版放下、輸入曝光率、焦深、能量輸出強度等各項資料,並透過顯示屏核對輸入是否正確。一切確認無誤,他按動啟動開關,機器聲輕微嗡鳴,光刻機開始自動工作。

光刻部分,這個流程是在光刻機內部完成,所有人都看不到具體過程,只能默默等待。

顯示屏上,代表光刻進度的進度條緩慢縮短,漸漸縮短成一個小方塊,再縮短為一條線,最後消失殆盡。

螢幕上跳出一個選項:重啟/關機。

操作員選擇關機,按照操作流程關閉氮氣閥門、壓縮空氣、真空,稍等一陣,開倉取出光刻完成的操作盤,放進入顯影裝置中,浸泡在顯影液中進行顯影處理。這套浸泡顯影、清洗等流程也採用了全自動操作,操作員也如同旁觀的郭逸銘他們一樣,只能緊盯著控制螢幕,而再也無須親自動手控制。

董老畢竟是七十多人的老人了,長時間站立下體力有些不支。旁邊的萬洪年紀同樣不輕了,高國皓好心地讓他們坐下休息一會兒,但誰也不肯離去。兩個老頭子你攙著我、我扶著你,顫巍巍地站在那裡,固執地要第一時間看到結果。

成功還是失敗,他們都要第一時間得到確切訊息!

這裡面,也有著他們心血的結晶!

顯影結束。

操作員用操作鉗將操作盤取出,將仍帶著溼潤的操作盤放進烘焙機進行烘焙處理。又是一陣等待,直到顯示屏綜合監控資料顯示出烘焙已結束,操作員開啟烘焙機,用操作鉗將冷卻後的操作盤取出,將其放置到眼前的顯微鏡下,仔細觀察單晶矽襯底上的電路顯影結果。如果光刻、顯影、清洗、烘焙過程中出現差錯,這張單晶片將被廢棄,不會轉入下一流程。

他仔細地轉動著鏡頭、調節焦距。

包括郭逸銘在內,雖然明知道穿戴著無塵工作服,呼吸不會對別人有所幹擾,但所有的人都還是連大氣都不敢出,目光灼熱地看著操作員每一個細微的動作,焦急地等待他的檢驗結果。

這個結果,將是對他們這幾個月辛勤工作的最佳檢驗。

老頭子已經站不穩了,兩人的面罩玻璃被他們撥出的熱氣給蒙花。郭逸銘實在看不下去了,硬要將兩位老人拉出去,可他們卻大發雷霆,堅決不肯離開。郭逸銘等人見他們態度如此堅決,也是極為無奈,只好讓他們靠在幾個年輕人身上,幫他們支撐搖搖欲墜的身軀。

彷彿永遠也不能完成的檢查工作終於結束。

操作員抬起頭來,在無塵工作服的玻璃面罩下,是他閃閃發亮的、略帶著一絲水汽的眼睛,一聲沉悶的嘶吼透過面罩發出來,傳到每個人耳朵裡。

“顯影效果極其出色,整片單晶矽襯底沒有發現任何瑕疵!這是一片優質品!”

接下來,將是耗時漫長的化學刻蝕,透過沉積、參雜、離子注射等手段,生成電路、元器件。每一種部件的製造,都需要重複一遍上述環節,整個積體電路的製造將耗費數日的時間。所以真正的積體電路的製造都是採用流水線作業,而不會像這次一樣,只用數片單晶矽進行少量試製。完整的積體電路製造,郭逸銘他們是不可能在今天內就看完整的。

但邁過了前面這個最重要的關卡,尤其是每一道工序

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